原子層沉積/化學(xué)氣相沉積

涂層溶液

• CN1有限公司是一家使用原子層沉積/化學(xué)氣相沉積技術(shù)以合理的價格提供半導(dǎo)體金屬和介電薄膜涂層溶液服務(wù)的快速供應(yīng)商。

• 金屬：鈷、釕、鈦、鉭等

• 金屬氧化物：氧化鋁、二氧化鈦、氧化鋅等

• 氮化物：氮化鈦、氮化鉭等

• 厚度均勻性：< 3%

用原子-優(yōu)質(zhì)(8inch)涂覆PE原子層沉積-鈷，均勻性(< 2%)

可提供晶片尺寸；2~8inch，根據(jù)客戶需要（無圖形晶片和有圖形晶片）

原子-優(yōu)質(zhì)涂覆原子層沉積-鈷膜

原子-優(yōu)質(zhì)涂覆原子層沉積-釕膜

原子-經(jīng)典涂覆原子層沉積-氮化鉭膜

原子-經(jīng)典涂覆原子層沉積-氮化鈦膜

原子-經(jīng)典涂覆原子層沉積-二氧化鋯膜

原子-經(jīng)典涂覆原子層沉積-氧化鋁膜