2025 年 7 月 23 日，正值炎炎夏日，高溫絲毫沒有阻擋我司工程師的腳步，他們專程來到中國科學院上海技術(shù)物理研究所（SITP），為客戶免費檢查維修 2 臺 “老伙計”——AW410 快速退火爐。

這兩臺 AW410 快速退火爐于 2010 年完成安裝調(diào)試后投入使用，至今已服役 15 年左右。在這漫長的歲月里，它們始終保持著出色的性能，其控溫精度、溫度均勻性、溫度重復性及設(shè)備穩(wěn)定性都得到了研究所老師們的一致認可。對于我司工程師的到來和專業(yè)服務(wù)，老師們表達了由衷的感謝。

值得一提的是，雖然 AW410 已經(jīng)停產(chǎn)，但我們的新伙伴 ——AccuThermo AW610M RTP 完全能夠替代并超越它，具備卓越的工藝性能。該新設(shè)備主要應用于以下領(lǐng)域：

• 離子注入激活

• 多晶硅退火

• 氧化回流

• 硅化物形成

• 歐姆接觸合金

• 氧化物、氮化物生長

• GaAs/SiC/InP 等化合物材料工藝

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