2025年08月28日 上午我們工程服務(wù)團(tuán)隊(duì)來(lái)到了上海科技大學(xué)物質(zhì)科學(xué)與技術(shù)學(xué)院（物質(zhì)科學(xué)與技術(shù)學(xué)院），現(xiàn)場(chǎng)有臺(tái)8年年齡的老朋友---AW610手動(dòng)版本的快速退火爐RTP設(shè)備，我們現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行了設(shè)備狀態(tài)檢查/設(shè)備動(dòng)力的檢查及注意事項(xiàng)/設(shè)備PM的要點(diǎn)/設(shè)備工藝的優(yōu)化問(wèn)題與老師們展開了深入的交流，老師們對(duì)設(shè)備的穩(wěn)定性/均勻性/重復(fù)性，特別是設(shè)備的維護(hù)成本低，損耗少的特點(diǎn)給與了高度評(píng)價(jià)，我們也會(huì)繼續(xù)加強(qiáng)售后，及時(shí)溝通，為科研力量助力！

我們的新伙伴 ——AccuThermo AW610M RTP 完全能夠替代并超越它，具備卓越的工藝性能。該新設(shè)備主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

• 離子注入激活

• 多晶硅退火

• 氧化回流

• 硅化物形成

• 歐姆接觸合金

• 氧化物、氮化物生長(zhǎng)

• GaAs/SiC/InP 等化合物材料工藝

想要了解更多關(guān)于 AccuThermo AW610M RTP 的資料，歡迎隨時(shí)查閱我們的網(wǎng)站：AccuThermo AW610M RTP